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甲硅烷

簡要描述:甲硅烷用途:硅的外延生長、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料,太陽能電池,光導纖維,有色玻璃制造,化學氣相淀積。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2021-01-21
  • 訪  問  量:2848

詳細介紹

硅烷 (SiH4)

 

項目名稱

純度指標(%)

甲硅烷

≥99.99

雜質含量(ppm)

 

氬氣(Ar)

≤0.05

氯硅烷(Chlorosilane))

≤0.15

乙硅烷(Si2H6))

≤0.5

氦氣(He)

≤1

一氧化碳(CO)

≤0.05

氧氣(O2)

≤0.05

氮氣(N2)

≤1

氫氣(H2)

≤20

二氧化碳(CO2)

≤0.05

甲烷(CH4)

≤0.05

碳(C)

≤0.2

二氯二氫硅(SiH2Cl2)

≤0.5

甲基硅烷(CH3Si)

≤0.5

金屬離子(Metals)

≤0.03

 

甲硅烷包裝:采用44L、47L鋼瓶充裝,也可根據客戶需要,分裝到8L的氣瓶中。

 

用途:硅的外延生長、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料,太陽能電池,光導纖維,有色玻璃制造,化學氣相淀積。

 

理化性質: 硅烷在常溫常壓下為具有惡臭的無色氣體。在溫室下著火,在空氣或鹵素氣體中發生爆炸性燃燒。即使用其他氣體稀釋,如果濃度不夠低,仍能自燃。硅烷在氬氣中含2%,氮氣中含2.5%,氫氣中含1%,它仍能著火。硅烷濃度在小于1%時不燃,大于3%時自燃,1%~3%時可能燃燒。

 

注意事項:使用硅烷的工作場所要通風,保持室內空氣干燥。硅烷裝置要嚴格密封,避免和空氣、水分相接觸,為此,用氣裝置在使用前要用惰性氣體置換里面的空氣后抽真空,這樣反復進行置換和抽真空,一定要*清除系統中的空氣和水分。裝置使用以后,也要用惰性氣體置換清洗系統中的硅烷。可以用氦探漏器探漏。少量硅烷泄漏時,從氧化硅粉末的折出中也可以得知。鋼瓶要存放在陰涼干燥通風良好之處,要遠離熱源和氯、溴等氧化劑。工作場所要配備足夠的防護用品及應急用品。硅烷無腐蝕性,可以使用碳鋼、不銹鋼、銅、黃銅、蒙乃爾、耐蝕鎳基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、尼龍、三氟氯乙烯樹脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用鉛、橡膠、脂肪、潤滑油、玻璃。凡是可燃性的有機高分子材料應該避免使用。當硅烷大量泄漏時。緊接著就要著火,所以無法用滅火器滅火。但是可以控制火勢,使火災不向周圍蔓延。燃燒時輻射熱不太高,所以應盡可能去關閉閥門以止住氣體的流出。可用白雪石粉或石墨粉熄火。廢氣可用水或堿吸收,或者在特殊燃燒器中燃燒成SiO2之后用專門的過濾器捕捉。儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30。應與易(可)燃物、氧化劑分開存放,切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。密閉操作,局部排風。操作人員必須經過專培訓,嚴格遵守操作規程。建議操作人員佩戴過濾式防毒面具(半面罩)。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。

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